電子ビーム蒸着用ロールツーロール装置
WEB幅10~60cmまで対応する研究及び少量生産ロールツーロール装置
最大WEB幅1.3~1.65mまで対応する小型ロールツーロールスパッタ装置
最大WEB幅1.65mまで対応するモジュラー型ロールツーロールスパッタ装置