最大ＷＥＢ幅1.65mまで対応するモジュラー型ロールツーロールスパッタ装置

◆大量生産に対応
◆ＰＥＴ，ＴＡＣ等のフィルムでは50～250ミクロン厚に対応
◆モジュラーデザインで、最大３ドラムまで拡張可能
◆平板、ローテータブルの各種ターゲットに対応
◆DC,AC電源や、プロセス毎に最適化されたマグネトロンを各ドラム ４～６基搭載可能
◆シールドが簡単に取外せ、容易に保守可能です。
◆特殊仕様2.15m幅も有ります
◆ご希望の設計に対応可能です