ＷＥＢ幅10~60cmまで対応する研究及び少量生産ロールツーロール装置

◆研究及び少量生産にフレキシブルに対応
◆実験用製膜源のカスタマイズにもご協力します ◆PET,TAC等のフィルムでは50～250ミクロン厚に対応（オプション25um以下）
◆フレキシブルガラスや金属箔などの対応もご相談ください
◆平板、ローテータブルの各スパッタの他、電子ビーム蒸着、有機物蒸着にも対応
◆DC,AC電源のほか 各種マグネトロンをデュアル６基から最大シングル１４基搭載可能。
◆仕様外の幅、製膜面ノンコンタクトもご相談ください
◆将来の変更設計にも柔軟に対応します
◆本装置で開発されたプロセスをCX,MXでの量産にご活用ください