最大ＷＥＢ幅1.3～1.65mまで対応する小型ロールツーロールスパッタ装置

◆少量多品種生産にフレキシブルに対応
◆２方向からアクセスによりメンテが簡単
◆PET,TAC等のフィルムでは50～250ミクロン厚に対応
◆平板、ローテータブルの各ターゲットに対応
◆DC,AC電源のほか 各種マグネトロンをデュアル６基から最大シングル１４基搭載可能
◆特殊仕様2.15m幅も有ります
◆ご希望に応じた設計が可能です