高精度オフライン検査装置 MICRO ACEシリーズ
A3サイズの製品を0.7～4.0μmの高精度で自動検査

分解能0.7～4μm
最大Ａ３サイズ（20.3インチ、300dpi）の製品を高精度で自動検査
◆超高分解能 0.7～4μm
◆高精度専用レンズにより鮮明な画像を撮像
◆高精度ステージ
◆振動や温度変化での誤差が無いようサスペンションを使用した耐震機能
◆オートフォーカス
カメラのピントを検査中に自動補正 ◆カラー撮影機能
　　カラーカメラによる撮像にも対応
◆3D顕微鏡
　　3D顕微鏡との連動で欠陥の深さ、高さの測定が可能