塗布ヘッド内圧力連動基板移動制御方式

◆極薄膜安定形成
・・・業界トップクラスのラウンド１μｍ成膜
◆高精度平滑化実現
・・・成膜範囲全域に渡る低膜厚ばらつき化
◆高信頼性プロセス管理
・・・重要因子リアルタイムモニタリング機能