豊富なプロセスガスの供給と処理対象に応じた2つのプラズマ発生装置

大気圧プラズマとは、従来は真空プロセスが必要であった「プラズマ」（ガス中の原子や分子がエネルギーの高い電子やイオンに解離した状態）を大気圧下で安定して発生させる技術です。極めて活性なため低温での処理が可能であり、また、薬液などを使用しないため、環境にやさしく生産性に優れた表面改質方法です。
エア・ウォーターでは、この大気圧プラズマ技術を確立し、フィルムを高速・連続に処理する「ダイレクト型表面処理装置」と、ガラスや基板にプラズマを吹き付けて洗浄する「リモート型表面処理装置」の2方式の装置を開発しました。

＜特徴＞
◆ダイレクト・リモート両方式の2方式（業界初）
・電源・電極の独自開発による高速処理、高生産性
・放電室構造の独自設計による小型化、軽量化、高メンテナンス性
・窒素ガス（N2）使用による低ランニングコスト（ダイレクト方式）
◆豊富な添加ガス技術
・目的に応じた表面材料設計を実現（親水性～撥水性）
・フィルムや材料ごとのガス組成技術、制御技術のノウハウを蓄積
・排ガス処理の対応も可能
◆特殊な形状にも対応した独自技術
・チューブ内面、外面の表面処理
・粉体の表面処理