2つのコンフォーカル光学系をベースに、微分干渉観察・白色干渉測定・位相シフト干渉測定・反射分光膜厚測定など6つの機能を搭載し、複数の装置を揃えないと実現できなかった観察・測定が1 台で可能になりました。
また、観察・測定だけでなく、自動欠陥検査や、Deep Learningを用いた高度な欠陥分類も可能です。
お客様のニーズに合わせたカスタマイズに対応することで、R&Dから量産まであらゆるフェーズで最適な装置をご提供します。

＜特徴＞
業界最高の基本スペックを兼ね備えた、拡張性の高いコンフォーカル顕微鏡
●白色コンフォーカル機能：焦点深度の深い高精細カラーコンフォーカル画像
●レーザーコンフォーカル機能：波長405nmのレーザー光による高倍率・高分解能画像
●微分干渉観察機能 ：ナノメートルレベルの微細な凹凸をリアルタイムに可視化
●波長選択機能 ：6波長からサンプルに最適な波長を選択し、観察・測定
●白色干渉測定機能：ミリメートルレベルの広視野で数十ナノメートルレベルの高低差を測定
●反射分光膜厚測定 ：ナノメートルレベルの透明膜厚を測定
●自動化ソフトウェア ：レシピに従いボタン一つで自動測定・自動検査が可能なツール、Deep Learningを用いた高度な欠陥分類も可能

＜用途＞
各種材料の観察および形状測定
半導体材料＆デバイス、透明膜、樹脂、MEMS、コーティング材料、フィルム、無機・有機材料、バイオ系試料、金属加工部品、プラスチック加工部品など