ＷＥＢ Ｊｏｕｒｎａｌ No.９６ |
| 特集 成膜形成技術/電子・光学など多様な分野に機能を実現する膜材料と成膜技術 |
| ◆PECVD法で作られた薄膜課題を解消した低温薄膜堆積法・Cat-CVD法の開発 |
| ◆１ﾋﾟｺﾘｯﾄﾙのｲｵﾝ液体を真空蒸着する新技術で切り拓く液体膜の応用と展開 |
| ◆コーティングの最適化を実現する「コンビナトリアルスパッタコーティングシステム」の開発 |
| ◆ロールツーロールがフレキシブルエレクトロニクスに要求される課題に対応した 「W35シリーズ・スパッタロールコータ」の開発 |
| ◆光学フィルムなどの薄膜課題に対応する誘導発熱ジャケットロールと ハイブリットロールの機能と展開 |
| ◆独自の画像解析処理技術が可能にした無地ＷＥＢ素材の高精度品質管理 |
| ◆透明膜の表面・膜下面の形状や膜厚分布が同時測定可能な 光干渉式表面形状測定装置「SP−７００」 |
| ◆「層断面」計測機能を統合した非接触表面・層断面形状計測システム「VｅｒｔＳｃａn２．０」 |
| ◆膜厚の異なる無地シート材料の表面欠陥をＣＣＤカメラに機能を凝縮・一体化した 「インテリジェントウェブシステム・ＺＤ−ＩＷＳ」 |
| ◆薄膜太陽電池パネルの膜厚値・膜質の解析を全自動で測定可能な 「分光エリプソ式膜厚装置・ＲＥ-8000」の開発 |