成膜形成技術 / No.104

電池・電子など拡大進化する膜材料と製膜技術

■太陽電池モジュール製造装置

■さらに拡大するコヒレント社の太陽電池向けレーザ技術の展開

■無機酸化物を用いた薄膜EL素子の開発 　　 ---交流１０V程度の発光開始電圧で赤く面発光---

■高性能有機薄膜トランジスタ材料の開発

■超臨界流体を利用した薄膜形成

■特殊銅加工による各種加熱ﾛｰﾙ・冷却ﾛｰﾙの性能向上 　　（「ｳﾙﾄﾗｶｯﾊﾟｰﾛｰﾙ」と「ｽｰﾊﾟｰｶｯﾊﾟｰﾛｰﾙ」）

■データファイル／

多様な分野の膜技術進展を支える技術・機器

●膜厚モニター　FE-300

●EDI社製精密コーティングダイユニット／キャストダイ

●Thermo EGS社製 WEB測定・制御装置

●児玉化学工業の精密研磨技術

●多層・膜厚測定器「TFProbe SR300」

●esprayer ES-2000S,ES-3500

成膜形成技術 / No.96

電子・光学など多様な分野に機能を実現する膜材料と成膜技術

■PECVD法で作られた薄膜課題を解消した低温薄膜堆積法・Cat-CVD法の開発

■１ﾋﾟｺﾘｯﾄﾙのｲｵﾝ液体を真空蒸着する新技術で切り拓く液体膜の応用と展開

■コーティングの最適化を実現する「コンビナトリアルスパッタコーティング 　　システム」の開発

■ロールツーロールがフレキシブルエレクトロニクスに要求される課題に対応した 　 「W35シリーズ・スパッタロールコータ」の開発

■光学フィルムなどの薄膜課題に対応する誘導発熱ジャケットロールと 　　ハイブリットロールの機能と展開

■独自の画像解析処理技術が可能にした無地ＷＥＢ素材の高精度品質管理

■透明膜の表面・膜下面の形状や膜厚分布が同時測定可能な 　　光干渉式表面形状測定装置「SP−７００」

■「層断面」計測機能を統合した非接触表面・層断面形状計測システム 　　「VｅｒｔＳｃａn２．０」

■膜厚の異なる無地シート材料の表面欠陥をＣＣＤカメラに機能を凝縮・一体化した 　 「インテリジェントウェブシステム・ＺＤ−ＩＷＳ」

■薄膜太陽電池パネルの膜厚値・膜質の解析を全自動で測定可能な 　　「分光エリプソ式膜厚装置・ＲＥ-8000」の開発